单体生产线
电容式接触或非接触旋转式扫描测厚装置
电容式接触或非接触旋转式扫描测厚装置
优点特性:

自动风环根据测厚仪读取的数据和ACS中心电脑数字指令调整
测厚仪监控薄膜厚度并把数据传送到中心电脑